電解オゾンガス発生装置

高性能

頑健性

長寿命

特徴

200g／m3(N)以上のオゾンガスを安定供給
ドライオゾンガスの供給も可能（乾燥ユニット併用）
オゾンガス発生量調整可能

用途

半導体製造分野：CVD、絶縁膜、レジスト剥離。薬液に混合し、ウエット洗浄装置。

オゾンガス発生装置プロセス

オゾンガス発生装置プロセス

標準モデルデータ

機種名	オゾンガス濃 (g/m3(N))	オゾンガス発生量 (g/hr)	外形寸法（巾×奥行×高さｍｍ）	質量 (kg)	電源容量 (kVA)
POG-24-S	200以上	24以上	600x800x1,500	250	6.8 (3φAC200V)
POG-48-S	200以上	48以上	600x800x1,700	350	11.9 (3φAC200V)
POG-120-S	200以上	120以上	1,200x1,300x2,000	500	18 (3φAC200V)

ユーティリティ

1. 電力、（電圧、周波数の確認）
2. 純水（2MΩ・cm以上の超純水）
3. 冷却水（23℃±3℃）
4. 制御エアー（0.5～0.7MPa）
5. 熱排気ダクト
6. 排水ライン（自然流下）

オプション

1. 廃オゾンガス分解触媒ユニット
2. オゾンガス乾燥ユニット（露点－70℃以下）
3. 高圧オゾンガス発生ユニット（～400kPa）
4. 環境オゾンモニタ